鍍膜過(guò)程常見(jiàn)問(wèn)題與解答
1. 在鍍膜過(guò)程中，膜厚讀數(shù)有大的跳動(dòng)。
2. 鍍膜過(guò)程中，在晶體壽命正常結(jié)束前，晶體停止振蕩。
3. 晶體不振蕩或間歇振蕩（在真空或大氣中）
4. 晶體在真空中振蕩，但大氣中停止振蕩。
5. 晶體中大氣中振蕩，但在真空中停止振蕩。
6.熱不穩(wěn)定性：膜厚讀數(shù)在蒸發(fā)源升溫過(guò)程中（通常導(dǎo)致膜厚讀數(shù)減?。┖徒K止鍍膜后（通常導(dǎo)致膜厚讀數(shù)增大）有大的變化。
7. 膜厚的再現(xiàn)性差
8. 終止鍍膜后，膜厚有大的偏離（密度為 5g/ml 時(shí)大于 200 埃）
9. 雙晶體或多晶體轉(zhuǎn)換問(wèn)題（不轉(zhuǎn)換或不對(duì)準(zhǔn)孔徑中心）
10. 晶體安裝，讀數(shù)始終不變，鍍膜過(guò)程中不下降，不提示。
